מהי מערכת מיקרו-אלקטרומכנית (אמהות)? - הגדרה מטכנולוגיה

הגדרה - מה המשמעות של מערכת מיקרו-אלקטרומכנית (MEMS)?

מערכת מיקרו-אלקטרומכנית (MEMS) היא מודול מכני זעיר המונע על ידי חשמל. NEMS ממזגים מחשבים עם מודולים מכניים כמו חיישנים, מפעילים ומראות. מדובר במערכות חסכוניות המשתמשות בטכנולוגיית ייצור מכשירים שהשתנה.

ל- MEMS מגוון שימושים ומגיעים במגוון רחב של גישות לעיצוב ייצור, תוך ניצול רכיבים שונים, מיניאטורות ומערכות אלקטרומכניות משולבות סטנדרטיות חדשות. ניתן להשתמש ב- MEMS לתחריט רטוב כמו אשלגן הידרוקסיד (KOA), תחריט יבש כגון תחריט יון תגובתי עמוק (DRIE), דפוס וציפוי, מכונות פריקה אלקטרונית (EDM) וטכנולוגיות אחרות המייצרות מכשירים קטנים.

מערכת מיקרו-אלקטרומכנית עשויה להתייחס גם כמערכת מיקרו-אלקטרונית, מיקרו-מכונה, טכנולוגיית מערכות מיקרוסופט או חומר חכם.

Techopedia מסביר מערכת מיקרו-אלקטרומכנית (MEMS)

MEMS יכול להיות קטן מרוחב שיער אדם ועשוי לכלול מספר רכיבים כמו:

• חיישני מיקרו
• מיקרו-מפעילים
• מעבדי מיקרו
• יחידות מרכזיות לעיבוד נתונים
• רכיבים לאינטראקציה עם אלמנטים חיצוניים

ל- MEMS יחס שטח פנים-נפח גדול ונבנה בטכנולוגיית ייצור סיליקון.

מכשיר MEMS כולל מיקרו-מעגלים המונחים על שבב סיליקון קטן המשמש עם רכיבים מכניים. הטכנולוגיה תומכת במגוון גדול של מכשירים השולטים, חושים או מפעילים תהליכים מכניים תוך כדי תפקוד כמערך או באופן פרטני.

נכון לעכשיו, MEMS מקיפה מיקרו-מנגנון או מיקרו-אקואטור בודד בארכיטקטורה שלהם, אך רמות הטמעה מורכבות יותר עשויות להתרחש בעתיד. ההתפתחות הבאה עשויה להיות שילוב של תכונות בודדות רבות במערכת אחת.