תוכן עניינים:
הגדרה - מה המשמעות של ננוניטתוגרפיה?
ננוניטוגרפיה היא ענף של ננו-טכנולוגיה ושם התהליך להטבעה, כתיבה או תחריט של תבניות ברמה מיקרוסקופית על מנת ליצור מבנים קטנים להפליא. תהליך זה משמש בדרך כלל ליצירת מכשירים אלקטרוניים קטנים ומהירים יותר כמו מיקרו / ננו-צ'יפס ומעבדים. ננוניטוגרפיה משמשת בעיקר במגזרים שונים של טכנולוגיה, בין אלקטרוניים לביו-רפואיים.חברת Techopedia מסבירה את ננוניתוגרפיה
ננוניטוגרפיה היא מונח רחב המשמש לתיאור תהליכים שונים ליצירת דפוסים ננומטריים על מדיות שונות, כאשר הנפוץ שבהם הוא סיליקון חומר המוליכים למחצה. המטרה השולטת של הננוליתרוגרפיה היא הצטמקות של מכשירים אלקטרוניים, המאפשרת לדחוס חלקים אלקטרוניים נוספים לחללים קטנים יותר, כלומר מעגלים משולבים קטנים יותר שגורמים להתקנים קטנים יותר, המהירים יותר וזולים יותר לייצור מכיוון שנדרשים פחות חומרים. זה גם מגביר את זמני הביצועים והתגובה מכיוון שהאלקטרונים רק צריכים לנסוע למרחקים קצרים מאוד.
כמה טכניקות המשמשות בננונילוגרפיה הן כדלקמן:
- ליטוגרפיה רנטגן - מיושמת בגישה להדפסת קרבה ונשענת על קרני רנטגן בקרבת שדה בביזור פרנל. ידוע כי הוא מרחיב את הרזולוציה האופטית שלו ל 15 ננומטר.
- דפוס כפול - שיטה המשמשת להגברת רזולוציית הגובה של תהליך ליטוגרפי על ידי הדפסת דפוסים נוספים בין רווחים של תבניות מודפסות כבר באותה שכבה.
- ליטוגרפיה אלקטרונית של קרן אלקטרונית (EBDW) - התהליך הנפוץ ביותר בשימוש בליטוגרפיה, המשתמש בקרן אלקטרונים ליצירת דפוסים.
- ליטוגרפיה אולטרה סגולה קיצונית (EUV) - סוג של ליטוגרפיה אופטית העושה שימוש באורכי גל אולטרה -ashort של 13.5 ננומטר.
